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AM 清华大学李杨课题 组基于湿法刻蚀实现Q值近千万的 妮酸鲤微环腔的高效制备

团队开发了一种用于薄膜铌酸锂（TFLN）的湿法蚀刻方法，成功制造了内在品质因数超过900万的微环。 这种方法具有高通量、高可重复性和低成本蚀刻TFLN的特点，显示出极大地提升集成TFLN设备的大规模生产、高保真度和可负担性的潜力。

服务对象 : 清华大学

发表时间: 2023年1月19号

发表期刊: ADVANCED MATERIALS

文章链接: https://doi.org/10.1002/adma.202370015

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